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Viele Plasmabearbeitungswerkzeuge haben mehrere feste Formate. Dies kann die Auswahl des richtigen Werkzeugs für Ihre Anwendung erschweren. Einige dieser Systeme haben beispielsweise mehrere feste Formate, was bedeutet, dass Sie nicht das richtige für Ihre Anwendung auswählen können. Andere Systeme werden basierend auf den spezifischen Anforderungen Ihrer Einrichtung angepasst. Letztendlich sollten Sie ein Tool wählen, das für Ihre Anwendung geeignet ist, und nicht das, das von der Stange erhältlich ist.

In den Anfängen der Halbleiterindustrie wurden Plasmawerkzeuge verwendet, um Fotolack von der Vorrichtung zu entfernen. Diese Techniken können genauer sein als Nassätzen, da Plasma Schichten der Vorrichtungsstruktur entfernen kann. Sie ermöglichen auch das Aufbringen einer konformen Beschichtung auf interessante Merkmale und bieten einen scharfen Kontrast für eine produktive Bildgebung. Zu den Vorteilen von Plasmawerkzeugen gegenüber dem Nassätzen gehören ein geringerer Umgang mit Chemikalien, niedrigere Anschaffungskosten und eine höhere Produktivität. Zum Beispiel verwendet ein Dual-Source-Plasmaätzer ein ionisiertes Gas, um die eingebettete Schaltungsstruktur der Vorrichtung zu spülen.

Zweiquellen-Plasmaätzer sind ein gutes Beispiel für ein FA-Werkzeug. Diese Werkzeuge haben eine Kammer mit einer Basis und einer Seitenwand. Eine induktive Quelle ist in der Nähe der Bearbeitungskammer angebracht, und eine dielektrische Auskleidung ist über der inneren Seitenwand angeordnet. Die Innenwand hat einen Durchgang, der einen erdbaren Abschnitt freilegt. Sobald die Quelle mit der elektrostatischen Abschirmung verbunden ist, wird das Plasma entlang des Erdungspfads angeordnet.

Andere Plasmaverarbeitungswerkzeuge verwenden eine abstimmbare reaktive Impedanzschaltung und eine Raumladungshülle. Mit diesen Geräten lässt sich der Ionenfluss unabhängig vom Werkstück regulieren. Dadurch können Sie die Ionenenergie und die elektrische Aufladung des Werkstücks steuern. Dies eliminiert den potenziellen Schaden, der durch Ionenspülung verursacht wird. Die Werkzeuge können für verschiedene Anwendungen verwendet werden und erfordern mehrere Arten von Hardware.

Eine Plasmaquelle und Plasmabearbeitungswerkzeuge sind wichtige Teile des Plasmabearbeitungsprozesses. Ein moderner Plasmaätzprozess erfordert eine hohe Plasmagleichförmigkeit und eine Vielzahl von abstimmbaren Steuerungen. Der Prozess muss kontrolliert werden, um ein akzeptables Maß an Qualität und Konsistenz im Endprodukt zu erreichen. Es ist auch wichtig, die Unterschiede zwischen qualitativ hochwertigen und minderwertigen Produkten und die Anforderungen der verschiedenen Arten von Prozessen zu verstehen. Wenn Sie also versuchen, ein Produkt in einem bestimmten Bereich herzustellen, ist es wichtig, die Unterschiede zwischen einem minderwertigen und einem hochwertigen Werkzeug zu kennen.

Ein Plasmabearbeitungswerkzeug umfasst eine Kammer und eine induktive Quelle. Die Bearbeitungskammer ist durch ein dielektrisches Begrenzungselement mit der induktiven Quelle verbunden. Die Kammer kann auch eine induktiv betriebene Induktionsspule enthalten. Die HF-Quelle wird verwendet, um die Frequenz eines gepulsten Lasers zu steuern. Es muss in einem hochfrequenten Bereich liegen. Eine niederfrequente Induktionsspule wird benötigt, um zu verhindern, dass das induktiv gekoppelte Plasma einen Halbleiter stört.